כל מה שרצית לדעת על MEMS:
MEMS, מערכת מיקרו אלקטרו מכנית ( Micro Electro Mechanical System ) היא משפחה של טכנולוגיות, חומרים ומעגלים משולבים ברמות מיקרו וננו ( NEMS – Nano Electro Mechanical System ) המכילות רכיבים ומערכות אלקטרוניות, מכניות, אופטיות (MOEMS – Micro Optical Electro Mechanical System) ביולוגיות, ( BioMEMS – Biological Micro Electro Mechanical System ) ופיזיקליות אחרות, כולם ממוזערות המאפשרות מגוון רחב מאוד של יישומים מתקדמים וחדשנים.
הפוטנציאל של מכונות ממוזערות הובן הרבה לפני פיתוח הטכנולוגיה ובאה לביטוי בהרצאתו המפורסמת של פרופ' ריצ'רד פיינמן ב – 1959 "יש שפע מקום בתחתית" ( There's Plenty of Room at the Bottom ).
הטכנולוגיה הפכה למעשית כאשר אומצו טכנולוגיות ייצור מתחום המעגלים המשולבים בהם ריבוץ, אילוח, חימצון,molding , plating וטכנולוגיות מזעור ושילוב נוספות.
זיז בהתקן MEMS בתהודה